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uuid:059500d6-5ddd-4ec7-abf9-4ffab42059da 10.1063/1.5095938 Thermal atomic layer etching of crystalline GaN using sequential exposures of XeF2 and BCl3 true 2019-06-17 aip.org 10.1063/1.5095938 https://doi.org/10.1063/1.5095938 Â© 2019 Author(s) VoR doi:10.1063/1.5095938 Applied Physics Letters application/pdf AIP Publishing LLC Thermal atomic layer etching of crystalline GaN using sequential exposures of XeF2 and BCl3 Nicholas R. Johnson Jennifer K. Hite Michael A. Mastro Charles. R. Eddy Steven M. George Appl. Phys. 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